半導體微電子行業的全氟PFA折疊濾芯

全氟PFA系列濾芯采用高潔凈度的PTFE膜和 PFA氟材料制作，類氟PFG系列濾芯采用高潔凈度的PTFE膜和 ECTFE/PVDF支撐和PVDF骨架材料熱熔合制作。

主要特點 Key Features

1. 幾乎能耐受所有的化學試劑和腐蝕類的流體，并能在高溫環境中使用;

2. 特殊的折疊結構增加了過濾面積，高流速低壓差，延長了使用壽命。

3. 能提供預過濾和精過濾的各種過濾精度，生產時100%進行完整性檢測。

典型應用 Typical Applications

1. 半導體微電子行業的強腐蝕性酸、堿、光刻膠、電鍍液、混合酸和氣體等過濾;

2. 醫藥中間體/化工行業的各種腐蝕性化學試劑和氣體的預過濾和精過濾等;

3. 食品飲料行業中臭氧和強氧化性氣體和液體等過濾。

工作條件 Operating Conditions

1. 最高工作溫度:1.2 bar@190°C;19 bar @120°C;

2. 滅菌溫度:121°C 30 min

3. 推薦更換壓差:2.0bar@25°C

4. 最大正壓差:4.3 bar@25°C;5.0bar@25°C;

5. 最大反壓差:3.0 bar@25°C,3.2bar@25°C

材料結構 Material Construction

1. 過濾介質:聚四氟乙烯PTFE

2. 支撐材料:PFA/PTFE:PVDF/ECTFE

3. 濾芯骨架:PFA，PVDF

4. 密封圈:見訂購信息表

5. 密閉方式:熱熔合

6. 金屬溶出:<25ug/10"，總溶出物≤15mg/10"

7. 顆粒脫落:<15個/10 ml (≥0.2 um @5L/min DI 水)

8. TOC恢復:<10 ppb沖洗后(120L@1L/min)

主要性能參數 Key Specifications

1. 過濾精度:0.03,0.05,0.1,0.2,0.45,1.0,5.0 (um)

2. 濾芯直徑:外徑:68mm

3. 過濾面積:≥0.5m2/10"